充氮烤箱
更新時(shí)間：2019-08-01
充氮烤箱，用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預(yù)處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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一、充氮烤箱溫控系統(tǒng)：
1.型號(hào)：
型號(hào) | 內(nèi)箱尺寸（mm） | 外箱尺寸（mm） |
HE-27-300 | W300*H300*300 | W800*H520*D475 |
HE-72-300 | W450*H400*400 | W910*H610*D570 |
HE-150-300 | W500*H600*500 | W750*H1190*D680 |
HE-240-300 | W600*H800*500 | W850*H1390*D680 |
HE-270-300 | W600*H900*500 | W850*H1490*D680 |
HE-480-300 | W800*H1000*600 | W1050*H1660*D785 |
HE-672-300 | W800*H1200*700 | W1050*H1860*D885 |
2.溫度范圍：RT+10℃～300℃
3.溫控表精度：±0.01℃
4.溫控表波動(dòng)度：±0.5℃
5.溫度均勻度：±2℃
6.升溫速率：RT～100℃（約10分鐘左右）
7.定時(shí)器設(shè)定：1秒－9999時(shí)（可選擇設(shè)定小時(shí)、分鐘、秒）溫到計(jì)時(shí)，時(shí)間至切斷加熱電流；8.感溫線(xiàn)（K）型；
9.加熱控制為：固態(tài)繼電器SSR無(wú)接點(diǎn)，保持電流的高穩(wěn)定性；
10.加熱元件為：不銹鋼耐高溫加熱管，無(wú)污染且使用壽命長(zhǎng)；
11.溫控儀表為PID數(shù)顯儀表（中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)松儀表），單點(diǎn)式控溫，可自動(dòng)演算，PV/SV同時(shí)顯示，按鍵設(shè)定。
二、充氮烤箱箱體結(jié)構(gòu)：
1.控制器位于機(jī)臺(tái)上方，不銹鋼豪華拉手，配防爆鎖門(mén)扣。
2.開(kāi)門(mén)方式：?jiǎn)伍T(mén)由右至左開(kāi)啟。
3.可視窗：門(mén)上有可視窗。
4.內(nèi)材質(zhì)為SUS304鏡面不銹鋼，厚1.0mm，耐腐蝕性強(qiáng)。
5.外材質(zhì)為SECC鋼板，板厚為1.2mm 精粉體烤漆處理。
6.保溫材質(zhì)為耐高溫高密度玻璃巖棉，隔熱性好，大限度地保證溫度保溫性，防密之迫緊材質(zhì)為耐高溫硅膠,可長(zhǎng)時(shí)間承受高溫。
7.隔層：內(nèi)箱分為二層，底起80mm*層，以上平分，配網(wǎng)板二塊。
三、充氮?dú)庋b置
1、調(diào)壓閥：控制氮?dú)鈮毫?，正常使用下氮?dú)鈮毫φ{(diào)為2.5公斤左右；
2、面板流量計(jì)：控制氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)的大小，量程為10L/min-60Lmin；
3、氮?dú)夤艿肋M(jìn)入到箱內(nèi)正后面，調(diào)壓閥處預(yù)留8mm快插氣管接口；
4、注：氮?dú)庥捎脩?hù)自備。
